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當前位置：上海添時科學儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統>> OTF-1200X-Ⅲ-R5-PECVD1200℃三溫區PE粉體回轉爐系統
•爐體在0-25°內傾斜，有利于粉末樣品的裝卸；
•齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性；
•四通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控；
•配備自動進出料系統可實現連續生產，可保證在氣氛保護環境下進行粉體的進給和收集。
加熱爐參數：
三溫區回轉爐
•最高溫度：1200℃（<30min）；連續工作溫度：1100℃；
•三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃;
•輸入功率：208-240V，單相，最大功率：4KW；
•高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗；
•回轉爐旋轉速度：2-10rpm；
•爐體開啟式設計以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
射頻電源：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統（可選）：
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V，AC，50/60Hz；
•氣體進出口配件：6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
•PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
產品尺寸和重量：
•設備尺寸：2800mmL'800mmW'1700mmH
•供氣系統：600mmL'700mmW'700mmH
•凈重：180kg
承諾：
一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
